<menuitem id="x1fjx"></menuitem>
<del id="x1fjx"></del><ins id="x1fjx"></ins><cite id="x1fjx"><noframes id="x1fjx">
<ins id="x1fjx"></ins>
<ins id="x1fjx"></ins>
<ins id="x1fjx"><noframes id="x1fjx"><ins id="x1fjx"></ins><ins id="x1fjx"></ins>
<cite id="x1fjx"><noframes id="x1fjx"><cite id="x1fjx"></cite>
<ins id="x1fjx"></ins>
<cite id="x1fjx"><span id="x1fjx"></span></cite>
<menuitem id="x1fjx"><noframes id="x1fjx"><var id="x1fjx"></var>
歡迎來到:藍點股票綜合網 - 股票分析,炒股知識綜合網
藍點股票綜合網 > 炒股模擬 >

半導體設備行業深度報告:國產突破正加速,迎來中長期投資機會(11)

發布時間:2020年05月14日 01:57 來源:網絡搜索 手機版

國內廠商中,已有中微半導體、北方華創、沈陽拓荊和中晟光電等在細分領域可實現國產替代。(略)

2.4 熱處理環節:12 寸產線國產化率較低,6-8 寸線基本可實現自給

在集成電路制造工藝中,擴散工藝是向硅材料摻雜的傳統方法,工藝簡單,擴散快,但濃度分布控制 困難;另一種方法是通過離子注入工藝將雜質離子注入圓片表層區域進行摻雜,重復性較好,可選擇雜質種類多,摻雜劑量控制準確,但設備昂貴,存在注入損傷。兩種方法各有利弊,有各自應用場景。

1)擴散工藝:是向硅材料中引入雜質的傳統方法,用于控制圓片襯底中主要載流子的類型、濃度和 分布區域,進而控制襯底的導電性和導電類型。傳統的擴散設備主要為臥式擴散爐和立式擴散爐。與離子 注入工藝(低溫工藝)不同,擴散工藝為高溫工藝(熱處理工藝),優點是擴散設備簡單、設備成本低、 擴散速率快、摻雜濃度高等;缺點是擴散溫度高,擴散濃度分布控制困難,難以實現選擇性擴散。臥式擴散爐:是一種大量用于直徑小于 200mm 的集成電路擴散工藝的熱處理設備,特點是加熱爐體、 反應管及承載晶圓的石英舟均成水平放置。優點是片間均勻性較好,廣泛應用于分立器件、電力電子、光 電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金等工藝;缺點是不能精確控制摻雜濃度的分布,因而 直徑 200mm 以上晶圓的擴散工藝逐步被離子注入機取代,但仍少量用于重摻雜工藝。臥式擴散爐可裝備 1-5 個工藝爐管,爐管越多,產能越大,超凈間的利用效率越高。

立式擴散爐:是一種用于直徑 200mm和300mm的集成電路擴散工藝的熱處理設備,特點是加熱爐體、 反應管及承載晶圓的石英舟均成垂直放置。優點是片內均勻性好、自動化程度高、系統性能穩定,可滿足 大規模集成電路生產線的需求,也常用于電力電子(如 IGBT)領域。立式擴散爐的核心技術主要集中在高 精度溫度場控制、顆?刂、微環境微氧控制、系統自動化控制、先進工藝控制及工廠自動化等,其技術 指標與臥式擴散爐差別不大。

2)退火工藝及退火爐:用于氧化、擴散、外延、離子注入、蒸發電極等工藝完成后特定的退火熱處理, 主要為了消除晶格缺陷、晶格損傷、除氧/雜質、清洗表面吸附物質、改善表面粗糙度等。退火可分為快速 退火、激光退火和傳統爐式退火。傳統的管式退火爐應用于小尺寸(直徑 200mm)晶圓,立式退火爐和 單片退火爐用于大尺寸(直徑≥200mm)晶圓。離子注入后的退火往往使用快速熱處理設備進行快速退火。

快速熱處理(RTP):?對離子注入后的晶圓進行快速熱退火(RTP),即在非常短的時間內將整個晶圓加 熱至某一溫度(400-1300℃)。對比管式退火爐,具有熱預算小、摻雜區域中雜質運動范圍小、沾污小合加 工時間短等優點,可采用燈退火、激光退火等能量源,廣泛應用于直徑 300mm 的高端集成電路制造工藝 中。RTP 設備主要廠商由應用材料、Axcelis、Mattson 和 ASM 等公司壟斷,市占率合計約 90%。

3)氧化工藝及氧化爐:是將硅片放置于氧氣或水汽等氧化劑氛圍中高溫熱處理,在硅片表面發生化學 反應形成氧化膜,是應用最廣泛的 IC 基礎工藝之一。氧化膜的用途廣泛,可作為離子注入的阻擋層及注入 穿透層(損傷緩沖層)、表面鈍化、絕緣柵材料以及器件保護層、隔離層、器件結構的介質層等。氧化設 備包括氧化爐和高溫氧化爐,高溫氧化爐由于安全和高壓系統污染等問題,應用在逐步減少。 http://www.fyeahblog.com/chaogumoni/181340.html

版權聲明:所有文字來自于網絡搜索和網站公開顯示結果,如有不妥,請聯系刪除。

色婷婷精品大在线视频,国产欧美国产综合第一区,中文字字幕在线乱码,香港三级日本三级韩级